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Excimer laser patterning properties of amorphous diamond / S., M., Santangelo, S., A., P., G., P., C., P., A., T., A., T., Messina, G.. - (1996), pp. 61-66. (Micro System Technologies ’96, BERLINO ).

Excimer laser patterning properties of amorphous diamond

SANTANGELO, Saveria;MESSINA, Giacomo
1996-01-01
1996
Inglese
H.REICHL AND A.HEUBERGER EDS
Micro System Technologies ’96
61
66
6
3800722003
No
Internazionale
info:eu-repo/semantics/bookPart
S., Martellucci; Santangelo, Saveria; A., Paoletti; G., Petroccelli; C., Pontorieri; A., Tebano; A., Tucciarone; Messina, Giacomo
2 Contributo in Volume::2.1 Contributo in volume (Capitolo o Saggio)
8
268
Excimer laser patterning properties of amorphous diamond / S., M., Santangelo, S., A., P., G., P., C., P., A., T., A., T., Messina, G.. - (1996), pp. 61-66. (Micro System Technologies ’96, BERLINO ).
none
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