“Evaluation of electron scattering in high-resolution x-ray mask fabrication” / A., P., Santangelo, S., A., T., Messina, G.. - (1993), pp. 497-504. (Eurosim Conference, Eurosim '92 Capri, Italy, 28 September-4 October, 1992).
“Evaluation of electron scattering in high-resolution x-ray mask fabrication”
SANTANGELO, Saveria;MESSINA, Giacomo
1993-01-01
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