“Evaluation of electron scattering in high-resolution x-ray mask fabrication” / A., Paoletti; Santangelo, Saveria; A., Tucciarone; Messina, Giacomo. - (1993), pp. 497-504. ((Intervento presentato al convegno Eurosim Conference, Eurosim '92 tenutosi a Capri, Italy, nel 28 September-4 October, 1992.
Titolo: | “Evaluation of electron scattering in high-resolution x-ray mask fabrication” | |
Autori: | ||
Data di pubblicazione: | 1993 | |
Handle: | http://hdl.handle.net/20.500.12318/13380 | |
ISBN: | 0-444-89331-8 | |
Appare nelle tipologie: | 2.1 Contributo in volume (Capitolo o Saggio) |
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