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“Evaluation of electron scattering in high-resolution x-ray mask fabrication” / A., Paoletti; Santangelo, Saveria; A., Tucciarone; Messina, Giacomo. - (1993), pp. 497-504. ( Eurosim Conference, Eurosim '92 Capri, Italy, 28 September-4 October, 1992).

“Evaluation of electron scattering in high-resolution x-ray mask fabrication”

SANTANGELO, Saveria;MESSINA, Giacomo
1993-01-01
1993
Inglese
F.MACERI AND G.IAZEOLLA EDS.
F.Maceri and G.Iazeolla Eds,
Eurosim '92: Simulation Congress : Proceedings of the 1992 Eurosim Conference, Eurosim '92, Capri, Italy, 28 September-4 October, 1992
497
504
8
0-444-89331-8
ELSEVIER
Esperti anonimi
No
Internazionale
WOS:A1993BA72N00068
info:eu-repo/semantics/bookPart
A., Paoletti; Santangelo, Saveria; A., Tucciarone; Messina, Giacomo
2 Contributo in Volume::2.1 Contributo in volume (Capitolo o Saggio)
4
268
“Evaluation of electron scattering in high-resolution x-ray mask fabrication” / A., Paoletti; Santangelo, Saveria; A., Tucciarone; Messina, Giacomo. - (1993), pp. 497-504. ( Eurosim Conference, Eurosim '92 Capri, Italy, 28 September-4 October, 1992).
none
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