A Low Voltage Piezoelectric Micromotor Using a Thin Circular Membrane / Carotenuto, Riccardo; A., Iula; N., Lamberti; M., Pappalardo. - 1:(1997), pp. 459-462. ( 1997 IEEE Ultrasonics Symposium Toronto, Canada Oct. 5-8, 1997).
A Low Voltage Piezoelectric Micromotor Using a Thin Circular Membrane
CAROTENUTO, Riccardo;
1997-01-01
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