Micromachined Ultrasonic Transducers Using Silicon Nitride Membrane Fabricated in PECVD Technology / Caliano, G.; F., Galanello; A., Caronti; Carotenuto, Riccardo; M., Pappalardo; V., Foglietti; N., Lamberti. - 1:(2000), pp. 963-968. (Intervento presentato al convegno 2000 IEEE Ultrasonics Symp. tenutosi a San Juan, Puerto Rico).
Micromachined Ultrasonic Transducers Using Silicon Nitride Membrane Fabricated in PECVD Technology
CAROTENUTO, Riccardo;
2000-01-01
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.
I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.