Pulsed laser deposition and patterning of diamond-like carbon films / Messina, Giacomo; A., Paoletti; Santangelo, S; M. A., Scarselli; A., Tebano; A., Tucciarone. - (1998), pp. 527-532. (Intervento presentato al convegno 6th international Conference on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components tenutosi a Potsdam nel December 1-3, 1998).

Pulsed laser deposition and patterning of diamond-like carbon films

MESSINA, Giacomo;SANTANGELO S;
1998-01-01

1998
3800724219
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