Pulsed laser deposition and patterning of diamond-like carbon films / Messina, G., A., P., Santangelo, S., M. A., S., A., T., A., T.. - (1998), pp. 527-532. (6th international Conference on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components Potsdam December 1-3, 1998).
Pulsed laser deposition and patterning of diamond-like carbon films
MESSINA, Giacomo;SANTANGELO S;
1998-01-01
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