Il grafene è un singolo strato di atomi di carbonio disposti secondo una struttura esagonale. La scoperta del grafene [1] ha dato inizio ad una intensa attività di ricerca sia per lo studio delle sue proprietà fondamentali che per il suo potenziale impiego in una ampia varietà di campi. Tra i diversi metodi sviluppati per produrre grafene, la Deposizione Chimica da fase Vapore (CVD) è il più promettente in vista delle applicazioni in dispositivi, poiché permette di ottenere film continui di grafene di grande area e trasferibili su substrati [2]. Le applicazioni elettroniche più avanzate richiedono film con una bassa densità di difetti. Ciò richiede un'accurata ottimizzazione dei parametri di crescita. In questo contesto, la spettroscopia Raman è una tecnica non distruttiva che è stata ampiamente utilizzata per valutare sia la qualità dei film di grafene che il numero di strati di cui esso è composto [3, 4]. In questo lavoro, saranno studiati film di grafene cresciuti con la tecnica CVD su sottili fogli di rame. I film saranno depositati sotto differenti condizioni di crescita. In particolare sarà analizzato come la qualità del materiale depositato dipenda da alcuni parametri di processo, quali la temperatura (930-1070°C), il tempo di crescita (10-30 min) e il precursore gassoso (Metano, Etanolo, Acetonitrile). Dopo la crescita, i film di grafene saranno trasferiti su opportuni substrati (Si/SiO2 300nm) per analizzarli con la spettroscopia Raman, e la microscopia a scansione elettronica (SEM).

Spettroscopia Raman di film di grafene cresciuto per deposizione chimica da fase vapore su fogli di rame

G. Faggio;MESSINA, Giacomo;SANTANGELO, Saveria
2012-01-01

Abstract

Il grafene è un singolo strato di atomi di carbonio disposti secondo una struttura esagonale. La scoperta del grafene [1] ha dato inizio ad una intensa attività di ricerca sia per lo studio delle sue proprietà fondamentali che per il suo potenziale impiego in una ampia varietà di campi. Tra i diversi metodi sviluppati per produrre grafene, la Deposizione Chimica da fase Vapore (CVD) è il più promettente in vista delle applicazioni in dispositivi, poiché permette di ottenere film continui di grafene di grande area e trasferibili su substrati [2]. Le applicazioni elettroniche più avanzate richiedono film con una bassa densità di difetti. Ciò richiede un'accurata ottimizzazione dei parametri di crescita. In questo contesto, la spettroscopia Raman è una tecnica non distruttiva che è stata ampiamente utilizzata per valutare sia la qualità dei film di grafene che il numero di strati di cui esso è composto [3, 4]. In questo lavoro, saranno studiati film di grafene cresciuti con la tecnica CVD su sottili fogli di rame. I film saranno depositati sotto differenti condizioni di crescita. In particolare sarà analizzato come la qualità del materiale depositato dipenda da alcuni parametri di processo, quali la temperatura (930-1070°C), il tempo di crescita (10-30 min) e il precursore gassoso (Metano, Etanolo, Acetonitrile). Dopo la crescita, i film di grafene saranno trasferiti su opportuni substrati (Si/SiO2 300nm) per analizzarli con la spettroscopia Raman, e la microscopia a scansione elettronica (SEM).
2012
grafene
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.12318/19480
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