Ulisation of diamond substrates in microstructure fabrication by electron beam lithography / Messina, G., A., T., Santangelo, S.. - (1994), pp. 249-258. (Micro System Technologies '94 BERLINO ).
Ulisation of diamond substrates in microstructure fabrication by electron beam lithography
MESSINA, Giacomo;SANTANGELO, Saveria
1994-01-01
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