Ulisation of diamond substrates in microstructure fabrication by electron beam lithography / Messina, Giacomo; A., Tucciarone; Santangelo, Saveria. - (1994), pp. 249-258. (Intervento presentato al convegno Micro System Technologies '94 tenutosi a BERLINO).
Ulisation of diamond substrates in microstructure fabrication by electron beam lithography
MESSINA, Giacomo;SANTANGELO, Saveria
1994-01-01
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