X-ray mask making and Monte Carlo analysis of a single-resist layer process on low-Z membrane / M., Gentili; A., Lucchesini; P., Lugli; Messina, Giacomo; A., Paoletti; A., Tucciarone; G., Petrocco; Santangelo, Saveria. - (1988).
X-ray mask making and Monte Carlo analysis of a single-resist layer process on low-Z membrane
MESSINA, Giacomo;SANTANGELO, Saveria
1988-01-01
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