X-ray mask making and Monte Carlo analysis of a single-resist layer process on low-Z membrane / M., G., A., L., P., L., Messina, G., A., P., A., T., G., P., Santangelo, S.. - (1988).
X-ray mask making and Monte Carlo analysis of a single-resist layer process on low-Z membrane
MESSINA, Giacomo;SANTANGELO, Saveria
1988-01-01
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