Evidence for the existence of scaling laws correlating the deposition parameters and the Raman spectra features in a-C:N(:H) thin films deposited by reactive r.f. sputtering / Santangelo, Saveria; G., Fanchini; A., Tagliaferro; Messina, Giacomo. - (2001).
Evidence for the existence of scaling laws correlating the deposition parameters and the Raman spectra features in a-C:N(:H) thin films deposited by reactive r.f. sputtering
SANTANGELO, Saveria;MESSINA, Giacomo
2001-01-01
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