Simulation of 64 megabit lithography in XRL masks obtained by single-layer process on Si substrates / A., Paoletti; Santangelo, Saveria; A., Tucciarone; Messina, Giacomo. - (1989).
Simulation of 64 megabit lithography in XRL masks obtained by single-layer process on Si substrates
SANTANGELO, Saveria;MESSINA, Giacomo
1989-01-01
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