Aid of scaling laws in the achievement of a well-controlled film deposition process

Aid of scaling laws in the achievement of a well-controlled film deposition process / Messina, G.; Santangelo, Saveria. - 100:(2006), pp. 1-21.

	Anno
	
				2006
			
	Codice ISBN
	
				3-540-29531-3
			
	Appare nelle tipologie:
	
				2.1 Contributo in volume (Capitolo o Saggio)

File in questo prodotto:

Non ci sono file associati a questo prodotto.

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.12318/8988