Amorphous silicon waveguides and light modulators for integrated photonics realised by low-temperature plasma enhanced chemical vapour deposition / Cocorullo, G.; F. G., DELLA CORTE; Rendina, I.; Minarini, C.; Rubino, A.; Terzini, E.; DELLA CORTE, Francesco Giuseppe. - In: OPTICS LETTERS. - ISSN 0146-9592. - 21:(1996), pp. 2002-2004. [10.1364/OL.21.002002]
Amorphous silicon waveguides and light modulators for integrated photonics realised by low-temperature plasma enhanced chemical vapour deposition
DELLA CORTE, Francesco Giuseppe
1996-01-01
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