A Microsystem Based on Porous Silicon-Glass Anodic Bonding for Gas and Liquid Optical Sensing / DE STEFANO, Luca; Malecki, K.; DELLA CORTE, Francesco Giuseppe; Moretti, Luigi; Rea, Ilaria; Rotiroti, Lucia; Rendina, Ivo. - In: SENSORS. - ISSN 1424-8220. - 6:(2006), pp. 680-687. [10.3390/s6060680]

A Microsystem Based on Porous Silicon-Glass Anodic Bonding for Gas and Liquid Optical Sensing

Francesco DELLA CORTE;Luigi MORETTI;
2006-01-01

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