CINECA IRIS Institutional Research Information System
IRIS è la soluzione IT che facilita la raccolta e la gestione dei dati relativi alle attività e ai prodotti della ricerca. Fornisce a ricercatori, amministratori e valutatori gli strumenti per monitorare i risultati della ricerca, aumentarne la visibilità e allocare in modo efficace le risorse disponibili.
EnglishThe scattering properties of diamond membranes for x-ray masks are discussed through MC simulation. The better intrinsic scattering characteristics of diamond with respect to silicon may result, in actual systems, in only minor advantages, both at low and high e-beam energy. At intermediate energy, we show that, while in case of diamond a 0.15 μm resolution is successfully obtained already at 30 keV, in case of silicon at least 40 keV is required.
| Titolo: | Electron scattering of diamond membranes in x-ray mask fabrication | |
| Autori: | ||
| Data di pubblicazione: | 1993 | |
| Rivista: | ||
| Handle: | http://hdl.handle.net/20.500.12318/2910 | |
| Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
File in questo prodotto:
| File | Descrizione | Tipologia | Licenza | |
|---|---|---|---|---|
| Messina_1993_MicroelectronEng_Electron-editor.pdf | Articolo principale | Versione Editoriale (PDF) | Tutti i diritti riservati (All rights reserved) | Administrator Richiedi una copia |
http://hdl.handle.net/20.500.12318/2910
Copyright © 2022