Evidence for the existence of scaling laws correlating the deposition parameters and the Raman spectra features in thin a-C:N:H films deposited by reactive r.f. sputtering / Messina, G.; Santangelo, Saveria; Fanchini, G.; Tagliaferro, A.. - In: VACUUM. - ISSN 0042-207X. - 67(2002), pp. 537-542.
Titolo: | Evidence for the existence of scaling laws correlating the deposition parameters and the Raman spectra features in thin a-C:N:H films deposited by reactive r.f. sputtering |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 2002 |
Rivista: | |
Handle: | http://hdl.handle.net/20.500.12318/4065 |
Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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