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EnglishEvidence for the existence of scaling laws correlating the deposition parameters and the Raman spectra features in thin a-C:N:H films deposited by reactive r.f. sputtering / Messina, G.; Santangelo, Saveria; Fanchini, G.; Tagliaferro, A.. - In: VACUUM. - ISSN 0042-207X. - 67(2002), pp. 537-542.
| Titolo: | Evidence for the existence of scaling laws correlating the deposition parameters and the Raman spectra features in thin a-C:N:H films deposited by reactive r.f. sputtering | |
| Autori: | ||
| Data di pubblicazione: | 2002 | |
| Rivista: | ||
| Handle: | http://hdl.handle.net/20.500.12318/4065 | |
| Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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http://hdl.handle.net/20.500.12318/4065
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