Vibration Maps of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers by Laser Interferometry / Caronti, A., Majjad, H., Ballandras, S., Caliano, G., Carotenuto, R., Iula, A., Foglietti, V., Pappalardo, M.. - In: IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL. - ISSN 0885-3010. - 49:(2002), pp. 289-292. [10.1109/58.990937]
Vibration Maps of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers by Laser Interferometry
CAROTENUTO, Riccardo;
2002-01-01
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