Vibration Maps of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers by Laser Interferometry / Caronti, A.; Majjad, H.; Ballandras, S.; Caliano, G.; Carotenuto, Riccardo; Iula, A.; Foglietti, V.; Pappalardo, M.. - In: IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL. - ISSN 0885-3010. - 49(2002), pp. 289-292.
Titolo: | Vibration Maps of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers by Laser Interferometry |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 2002 |
Rivista: | |
Handle: | http://hdl.handle.net/20.500.12318/524 |
Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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