Vibration Maps of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers by Laser Interferometry / Caronti, A.; Majjad, H.; Ballandras, S.; Caliano, G.; Carotenuto, Riccardo; Iula, A.; Foglietti, V.; Pappalardo, M.. - In: IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL. - ISSN 0885-3010. - 49:(2002), pp. 289-292. [10.1109/58.990937]

Vibration Maps of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers by Laser Interferometry

CAROTENUTO, Riccardo;
2002-01-01

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