The generalized backscattering coefficient: a novel parameter in electron scattering processes

Messina, Giacomo; Paoletti, A.; Tucciarone, A.; Santangelo, Saveria

doi:10.1016/0167-9317(92)90078-6

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An analysis of electron scattering is presented, into short and long range components, and a comparison is made with the conventional decomposition into forward and back scattering. A generalized ν is defined in place of the usual backscattering coefficient. Results are shown, in terms of Monte Carlo simulation, relative to some cases of practical interest. In particular, a quite general system is discussed for master-mask fabrication. The limits of the conventional approach are demonstrated.

Titolo:	The generalized backscattering coefficient: a novel parameter in electron scattering processes
Autori:	MESSINA, Giacomo A. PAOLETTI A. TUCCIARONE SANTANGELO, Saveria mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Data di pubblicazione:	1992
Rivista:	MICROELECTRONIC ENGINEERING
Handle:	http://hdl.handle.net/20.500.12318/623
Appare nelle tipologie:	1.1 Articolo in rivista

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http://hdl.handle.net/20.500.12318/623

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