Optical and structural properties of silicon carbon nitride thin films deposited by reactive pulsed laser ablation / Neri, F.; Tripodi, P.; Trusso, S.; Faggio, Giuliana. - In: RADIATION EFFECTS AND DEFECTS IN SOLIDS. - ISSN 1042-0150. - 165:6-10(2010), pp. 754-759. [10.1080/10420151003731678]

Optical and structural properties of silicon carbon nitride thin films deposited by reactive pulsed laser ablation

FAGGIO, GIULIANA
2010-01-01

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