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“Short-range and long-range scattering in e-beam lithography” 1-gen-1991 Messina, Giacomo; A., Paoletti; A., Tucciarone; Santangelo, Saveria
Simulazione Monte Carlo dello scattering elettronico in membrane di diamante 1-gen-1992 Messina, G.; Paoletti, A.; Santangelo, Saveria; Tucciarone, A.
Electron scattering in microstructure processes 1-gen-1992 Messina, G.; Paoletti, A.; Santangelo, S; Tucciarone, A.
The generalized backscattering coefficient: a novel parameter in electron scattering processes 1-gen-1992 Messina, G; Paoletti, A.; Santangelo, S.; Tucciarone, A.
Simulation of electron-scattering properties of diamond membranes in X-ray mask fabrication 1-gen-1993 Messina, Giacomo; A., Paoletti; A., Tucciarone; Santangelo, Saveria
“Monte Carlo evaluation of proximity effect reduction in x-ray reflection masks having diamond substrates” 1-gen-1993 Messina, Giacomo; A., Paoletti; A., Tucciarone; Santangelo, Saveria
“A new electron scattering model for x-ray lithography applications” 1-gen-1993 Santangelo, Saveria; A., Tucciarone; Messina, Giacomo
Short-range and long-range scattering in electron beam lithography 1-gen-1993 Messina, G; Paoletti, A.; Santangelo, S.; Tucciarone, A.
“Evaluation of electron scattering in high-resolution x-ray mask fabrication” 1-gen-1993 A., Paoletti; Santangelo, Saveria; A., Tucciarone; Messina, Giacomo
“Experimental test of high-resolution process modelling in electron-beam lithography at 25 to 50 keV” 1-gen-1993 A., Paoletti; Santangelo, Saveria; A., Tucciarone; Messina, Giacomo
Electron scattering of low-Z high-density materials in X-ray mask patterning 1-gen-1993 A., Paoletti; Santangelo, Saveria; A., Tucciarone; Messina, Giacomo
Perspectives in electron scattering by microstructures 1-gen-1993 Messina, G; Paoletti, A.; Santangelo, S.; Tucciarone, A.
Electron scattering of diamond membranes in x-ray mask fabrication 1-gen-1993 Messina, G; Paoletti, A.; Santangelo, S.; Tucciarone, A.
Ulisation of diamond substrates in microstructure fabrication by electron beam lithography 1-gen-1994 Messina, Giacomo; A., Tucciarone; Santangelo, Saveria
Maschere per litografia X a proiezione con substrati di diamante 1-gen-1994 Messina, G.; Santangelo, Saveria; Paoletti, A.; Tucciarone, A.
Tungsten/carbon masks in x-ray projection lithography 1-gen-1994 A., Paoletti; Santangelo, Saveria; A., Tucciarone; Messina, Giacomo
The role of electron scattering in x-ray reflection-masks 1-gen-1994 Messina, G; Paoletti, A.; Santangelo, S.; Tucciarone, A.
Monte Carlo modelling of electron beam lithography: a scaling law 1-gen-1994 A., Paoletti; Santangelo, Saveria; A., Tucciarone; Messina, Giacomo
Simulation of electron-scattering properties of diamond membranes in X-ray mask fabrication 1-gen-1994 Messina, G; Santangelo, S.; Paoletti, A.; Tucciarone, A.
Scaling laws of electron backscattering for microstructure design 1-gen-1994 A., Paoletti; Santangelo, Saveria; A., Tucciarone; Messina, Giacomo
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